PSX307是附带自动传送的基板用平行平板型等离子清洁机。有附带加载·卸载和在线规格可供选择，晶圆规格支持最大φ300 mm晶圆（有环/无环），基板规格可以同时处理4块宽度77.5 mm基板。 对应基板级和晶圆级封装 •通过对基板或晶圆的表面进行等离子清洁和改质，改善...